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產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：SCRD4
更新時(shí)間：2024-08-22簡(jiǎn)要描述：日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。用途1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
| 使用流體 | CO2 |
| 使用壓力 | 14MPa |
| 使用溫度 | 40℃ |
| 腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
| 安全功能 | 電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過(guò)熱保護(hù) |
| 控制面板 | 采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 約60kg |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
| 使用流體 | CO2 |
| 使用壓力 | 14MPa |
| 使用溫度 | 40℃ |
| 腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
| 安全功能 | 電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過(guò)熱保護(hù) |
| 控制面板 | 采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 約60kg |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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